(中山)
本产品是一款桌面式射频等离子清洗机，也是您在科研、小批量试产中进行材料表面处理、高效清洁的好帮手。 它采用304不锈钢腔体，容量高达5.3L；拥有直径100mm大尺寸可视窗口，让您对每一个工艺瞬间都能直观的了解；工作频率为13.56MHz（每秒振荡次数高达130万次），这是保证真空高效清洗的前提，通过试验发现清洗效果远远优于直流、中频等常规清洗机；它广泛应用于手机屏幕、仪表光学镜片等精密部件的高效清洗，也可用于材料表面的亲水性处理。
总之，相信在您的研究下，这款产品定能为您的每一个新的工艺和配方展现它完美的表现，期待您的使用。
1) 本产品在集成化和小型化方面具体很强的优势，相对于同等频率、功率、容量等条件下；
2) 采用7寸大尺寸触摸屏控制，轻松实现人机交互，减少复杂的机械按键和旋钮操作； 3) 面板仅保留一个电源开关，其他的控制全部交给触摸屏实现，简单易学、直观明了； 4)两路浮子流量计保证工艺气体要求的多样性； 5) 集成触摸屏控制真空泵、气路、破真空的开启和关闭； 6) 通过触摸屏可以任意设置射频功率、工艺时间、工作真空度，并具有设定参数记忆功能，避免重复性工作； 7) 内部集成自动匹配器，简化不同工艺条件下繁琐的匹配手动调节； 8) 内部集成数显真空计、功率计和定时器，实时监控真空度、功率值和工艺时间，让您对所有的工艺参数了如指掌； 9) 日期和24小时制时钟显示，提醒勤奋的您也要记得小憩片时； 10) 工艺处理完成后自动安全关闭所有部件并伴有声音报警，提醒您是时候开舱检验您的工艺效果了。 产品型号 (RPC-1305) |
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主要部件 |
部件名称 |
参数指标 |
| 控制系统 | 集成触摸屏 |
7寸电阻触摸屏 |
等离子激发 |
电容耦合式（CCP） |
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工作时间 |
0-9999s（任意设定） |
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| 真空腔体 | 腔体容量 |
5.3L |
腔体尺寸 |
内径：150mm; 长度：300mm |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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舱门 |
铝合金舱门（配不锈钢铰链） |
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样品支架 |
铝合金筛板，厚度：3mm |
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| 射频源 | 信号频率 |
13.56MHz ±0.005% |
功率范围 |
0-100W任意设定（功率等级200W/300W可选） |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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| 匹配器 | 匹配类型 |
全自动匹配 |
匹配时间 |
≤3s |
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| 气路 | 气体测量 |
浮子流量计 |
气体通道 |
2通道 |
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气体1量程 |
10～100ml；工作压强<=0.2MPa |
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气体2量程 |
10～100ml；工作压强<=0.2MPa |
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气路接头 |
外径：6mm气管 |
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| 真空 | 真空测量 |
集成数显真空计 |
真空泵类型 |
双极旋片泵式 |
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抽气速率 |
2L/s（4L/s可选） |
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真空度 |
<5Pa，（具体数值由真空泵决定） |
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抽气接口 |
KF16-不锈钢波纹管 |
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| 整机 | 整机功率 |
1kW |
整机总尺寸 |
580(L) *550(D)* 230(H)mm；（其中拉手+接头：60mm； 防滑底座：10mm） |
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整机重量 |
24kg（不含真空泵及配件） |
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工作电压 |
220Vac 50/60Hz |
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工作环境 |
-10℃ -- 40℃ |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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